|
Кварц для
полупроводниковой микроэлектроники
 Диффузионные
трубы, а также штабики, реакторы и многие другие
изделия для эпитаксии, окисления, травления. Трубы
Heraeus
изготавливаются прямой вытяжкой из цилиндрических заготовок без
контакта как с формующим инструментом, так и с материалом печи и
тигля. Это позволило уменьшить химические примеси, дефекты и
включения в поверхностном слое трубы, а также достичь гораздо
лучших геометрических параметров. Часть труб изготавливается с
использованием тонкого наружного кристобалитного слоя из оксида
алюминия, который делает трубу более стойкой к высоким
температурам.
Далее ->
 Кварцевые
кассеты Хереус Кварцглас изготавливаются как по
индивидуальным чертежам заказчика, так и по собственным
чертежам, обеспечивающим им высокую стойкость ко многим циклам
нагревания.
Также производится кварцевая
оснастка для индивидуальной обработки пластин диаметром 300 мм.
Далее ->
 Колокола.
Кварцевое стекло в этих применениях термически нагружается не
так сильно как в диффузионных процессах. Но и в этом случае
имеется преимущество у материала с меньшей склонностью к
кристаллизации. Трубы и колокола оказываются более долговечными
и без потускнений, т.е. без локальных расстеклований в самых
горячих зонах. Далее ->
 Тигли
диаметром от 18 до
36
дюймов
для выращивания полупроводниковых монокристаллов по
методу Чохральского.
Внутренняя поверхность тигля покрывается слоем синтетического
кварца. Технология Heraeus позволяет изготавливать тигли,
свободные от пузырей во внутреннем поверхностном слое, что
увеличивает выход годных пластин и увеличивает срок службы
тигля.
Далее -> |
Кварц для оптических применений
 Кварц
для волоконной оптики:
подложечные трубы из синтетического кварца
Suprasil F300 и
F500 для изготовления заготовки
сердечника методом MCVD или
PCVD,
жакетные трубы из кварца Suprasil F300
для вытяжки волокна методом RIT,
кварцевые RIC-цилиндры диаметром до 200
мм, заготовки
Fluosil для вытяжки волокон
специального применения, а также легированные фтором и
структурированные трубки для фотонно-кристаллических волокон.
Далее ->
 Стандартная
оптика и микролитография.
Натуральный и синтетический кварц для разнообразных оптических
применений в диапазоне длин волн от 160 нм до 4000 нм:
стандартная оптика (смотровые окна, кюветы, призмы), оптическая
микролитография, трубки для УФ и ИК ламп специального
применения, легированный кварц для применения в лазерной
технике. Далее
->
 Трубки
для УФ и ИК ламп.
Ламповое подразделение "Heraeus Quarzglas" предлагает кварцевые
трубки для разнообразных ламп:
бактерицидных, лазерных, эксимерных, импульсных,
высокого и низкого давления, прозрачных в УФ и ИК
диапазонах, легированные и пр. Трубки
отжигаются для снижения OH. Торцы могут быть открытыми,
закрытыми, полироваyными в пламени горелки. Стандартная
продукция предлагается также с
инновационным диффузионным отражателем из чистого
диоксида кремния (HRC). Далее
->
Кварц для химической промышленности
 Изделия
из непрозрачного кварца типа Rotosil
для химической промышленности: различные фланцы для
высокотемпературных процессов, требующих высокой химической
чистоты, колокола, тигли, изоляторы, чаши, а также
пластины, блоки, тонкостенные трубки, фильтры, посуда, кварцевая
вата и пр.
Далее -> |
