Домой

Кварц для волоконной
оптики

Кварц для ламп

Оптический
кварц

Диффузионные
трубы

Кварцевые
кассеты

Кварцевые
тигли

Непрозрачный кварц

Контакты

 

ТИГЛИ ДЛЯ ПОЛУПРОВОДНИКОВОЙ ПРОМЫШЛЕННОСТИ

 
Heraeus Quarzglas производит непрозрачные кварцевые тигли для выращивания полупроводниковых монокристаллов из расплава по методу Чохральского. Диаметр производимых тиглей: от 457 мм (18") до 920 мм (36"). Тигли производятся роторным способом из высококачественного кварца IOTA, прошедшего дополнительный цикл очистки горячим хлорированием. Внутренняя поверхность тигля, непосредственно контактирующая с горячим расплавом, покрыта слоем синтетического кварца с очень низким содержанием химических примесей. Технология Heraeus позволяет изготавливать тигли, свободные от пузырей во внутреннем поверхностном слое на протяжении всего срока эксплуатации.
 
Перед вытягиванием После вытягивания
Обычный тигель
Тигель Heraeus

Фотографии выше показывают рост пузырей в поверхностном слое тигля, находящемся в непосредственном соприкосновении с расплавом (тесты в вакуумной печи). В обычном тигле появляется множество пузырей, которые, открываясь, привносят дефекты в выращиваемый кристалл. Тигли Heraeus полностью свободны от пузырей в поверхностном слое, что увеличивает выход годных пластин и увеличивает срок службы тигля
 

 



Тигли для производства кремниевых монокристаллов

Тигли для солнечной энергетики (142 кБ)

Rambler's Top100