|
Кварцевые |
Контакты
ТИГЛИ ДЛЯ ПОЛУПРОВОДНИКОВОЙ ПРОМЫШЛЕННОСТИ
Heraeus Quarzglas производит непрозрачные кварцевые тигли для выращивания
полупроводниковых монокристаллов из расплава по
методу Чохральского. Диаметр производимых тиглей: от 457 мм (18") до
920 мм (36"). Тигли
производятся роторным способом из высококачественного кварца IOTA, прошедшего дополнительный цикл
очистки горячим хлорированием. Внутренняя поверхность тигля,
непосредственно контактирующая с горячим расплавом, покрыта
слоем синтетического кварца с очень низким содержанием
химических примесей. Технология Heraeus позволяет изготавливать тигли,
свободные от пузырей во
внутреннем поверхностном слое на протяжении всего срока эксплуатации.
Фотографии выше показывают рост
пузырей в поверхностном слое тигля, находящемся в
непосредственном соприкосновении с расплавом (тесты в вакуумной
печи). В обычном тигле появляется множество пузырей, которые,
открываясь, привносят дефекты в выращиваемый кристалл. Тигли
Heraeus полностью свободны от пузырей
в поверхностном слое, что увеличивает выход годных пластин и
увеличивает срок службы тигля |
||||||||||
|
|
Тигли для производства кремниевых монокристаллов
